
高效CMP抛光液
产品pH值为酸性,使用过程中较为稳定,不会发生较大变化,保持较高稳定的抛光速率;该产品将粗抛、精抛合并为一道抛光工序、大大降低了加工成本、提高了加工效率。
产品特点
1
抛光速率稳定
产品pH值为酸性,使用过程中较为稳定,不会发生较大变化,保持较高稳定的抛光速率。
2
加工成本低、效率高
将粗抛、精抛合并为一道抛光工序,大大降低了加工成本、提高了加工效率。
产品参数
| 常见规格参数 | 内容 | 测试方法 |
|---|---|---|
| 粒度(nm) | 70-90 | 激光粒度仪 |
| 颗粒形貌 | 球形 | SEM/TEM |
| pH值 | 3-4 | pH 计 |
| 粘度(cst) | <10 | 粘度计 |
| 浓度(%) | 5-10% | 比重计 |
| 包装规格 | 25kg/5kg | |